Die Prüfung gliedert sich in die Prüfungsteile:
- 1.
Betriebliche Mikrotechnologie-Prozesse,
- 2.
Mikrotechnologie-Fachaufgaben,
- 3.
Mitarbeiterführung und Personalmanagement.
Die einzelnen Prüfungsteile können in beliebiger Reihenfolge geprüft werden; dabei ist mit dem letzten Prüfungsteil spätestens zwei Jahre nach dem ersten Prüfungstag des ersten Prüfungsteils zu beginnen.