| Abschnitt I: Gemeinsame Ausbildungsinhalte |
| Lfd. Nr. | Teil des Ausbildungsberufsbildes | Fertigkeiten und Kenntnisse, die unter Einbeziehung selbständigen Planens, Durchführens und Kontrollierens zu vermitteln sind | Zeitliche Richtwerte in Wochen im Ausbildungsjahr |
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| 1 | Berufsbildung, Arbeits- und Tarifrecht (§ 3 Nr. 1) | a) | Bedeutung des Ausbildungsvertrages, insbesondere Abschluß, Dauer und Beendigung erklären | während der gesamten Ausbildung zu vermitteln |
| b) | gegenseitige Rechte und Pflichten aus dem Ausbildungsvertrag nennen |
| c) | Möglichkeiten der beruflichen Fortbildung nennen |
| d) | wesentliche Teile des Arbeitsvertrages nennen |
| e) | wesentliche Bestimmungen der für den ausbildenden Betrieb geltenden Tarifverträge nennen |
| 2 | Aufbau und Organisation des Ausbildungsbetriebes (§ 3 Nr. 2) | a) | Aufbau und Aufgaben des ausbildenden Betriebes erläutern |
| b) | Grundfunktionen des ausbildenden Betriebes, wie Beschaffung, Fertigung, Absatz und Verwaltung, erklären |
| c) | Beziehungen des ausbildenden Betriebes und seiner Beschäftigten zu Wirtschaftsorganisationen, Berufsvertretungen und Gewerkschaften nennen |
| d) | Grundlagen, Aufgaben und Arbeitsweise der betriebsverfassungs- oder personalvertretungsrechtlichen Organe des ausbildenden Betriebes beschreiben |
| 3 | Sicherheit und Gesundheitsschutz bei der Arbeit (§ 3 Nr. 3) | a) | Gefährdung von Sicherheit und Gesundheit am Arbeitsplatz feststellen und Maßnahmen zu ihrer Vermeidung ergreifen |
| b) | berufsbezogene Arbeitsschutz- und Unfallverhütungsvorschriften anwenden |
| c) | Verhaltensweisen bei Unfällen beschreiben sowie erste Maßnahmen einleiten |
| d) | Vorschriften des vorbeugenden Brandschutzes anwenden; Verhaltensweisen bei Bränden beschreiben und Maßnahmen der Brandbekämpfung ergreifen |
| 4 | Umweltschutz (§ 3 Nr. 4) | Zur Vermeidung betriebsbedingter Umweltbelastungen im beruflichen Einwirkungsbereich beitragen, insbesondere |
| a) | mögliche Umweltbelastungen durch den Ausbildungsbetrieb und seinen Beitrag zum Umweltschutz an Beispielen erklären |
| b) | für den Ausbildungsbetrieb geltende Regelungen des Umweltschutzes anwenden |
| c) | Möglichkeiten der wirtschaftlichen und umweltschonenden Energie- und Materialverwendung nutzen |
| d) | Abfälle vermeiden; Stoffe und Materialien einer umweltschonenden Entsorgung zuführen |
| 5 | Anwenden technischer Unterlagen (§ 3 Nr. 5) | a) | Betriebs- und Gebrauchsanleitungen, Montage- und Wartungspläne, Zeichnungen, Fließbilder und Schaltungsunterlagen in deutscher und englischer Sprache lesen und anwenden | 4 | |
| b) | Informationsquellen, insbesondere Dokumentationen, Handbücher, Fachberichte und Firmenunterlagen, in deutscher und englischer Sprache lesen und auswerten | | 4 |
| c) | berufsbezogene nationale und europäische Vorschriften sowie technische Regelwerke lesen, auswerten und anwenden |
| 6 | Planen und Organisieren der Arbeit (§ 3 Nr. 6) | a) | Arbeitsplatz unter Berücksichtigung betrieblicher Vorgaben und ergonomischer Regeln einrichten | 6 | |
| b) | Materialien, Ersatzteile, Werkzeuge sowie Betriebsmittel auswählen, lagern, disponieren und bereitstellen |
| c) | Geräte und technische Einrichtungen betriebsbereit machen, warten und überprüfen, bei Störungen Maßnahmen zu deren Beseitigung einleiten |
| d) | Arbeitsschritte festlegen und erforderliche Abwicklungszeiten einschätzen |
| e) | Arbeitsabläufe und Teilaufgaben unter Beachtung wirtschaftlicher und terminlicher Vorgaben planen, bei Abweichungen von der Planung Prioritäten setzen | | 6 |
| f) | Probleme analysieren und als Aufgabe definieren, Lösungsalternativen entwickeln und beurteilen |
| g) | Möglichkeiten zur Verbesserung der Arbeitsabläufe und Zusammenarbeit zwischen den einzelnen Funktionsbereichen des Ausbildungsbetriebes erkennen sowie Vorschläge zur Verbesserung von Arbeitsvorgängen machen |
| h) | innerhalb der Gruppe Personaleinsatz und Arbeitsaufgaben organisieren und koordinieren |
| i) | Gesprächs- und Moderationstechniken sowie Präsentationstechniken anwenden |
| 7 | Dokumentieren der Arbeiten, Bedienen von Datenverarbeitungsanlagen, Datenschutz(§ 3 Nr. 7) | a) | Standardsoftware, insbesondere Textverarbeitungs-, Tabellenkalkulations-, Grafik- und Planungssoftware, anwenden | 4 | |
| b) | Statistiken führen und interpretieren | | 4 |
| c) | Fertigungsdaten abrufen, eingeben und sichern |
| d) | Daten für die betriebliche Kostenrechnung dokumentieren |
| e) | Schriftverkehr und Berechnungen durchführen, Protokolle anfertigen, Daten und Sachverhalte visualisieren, Grafiken erstellen |
| f) | Vorschriften zum Datenschutz anwenden |
| 8 | Qualitätsmanagement (§ 3 Nr. 8) | a) | Prozesse überwachen und protokollieren, Messungen und Endkontrollen durchführen | 4 | |
| b) | Arbeitsergebnisse zusammenführen, kontrollieren und unter Berücksichtigung betrieblicher Kostenzusammenhänge bewerten | | 8 |
| c) | Zielerreichung kontrollieren, Qualitätsmanagementmaßnahmen durchführen, Qualitätskontrollen und technische Prüfungen dokumentieren |
| d) | Meßergebnisse mit Werkzeugen der statistischen Qualitätskontrolle auswerten |
| e) | Einflüsse auf die Produktqualität ermitteln sowie Vorschläge zur Verbesserung machen |
| 9 | Bereitstellen und Entsorgen von Arbeitsstoffen (§ 3 Nr. 9) | a) | Arbeitsstoffe kennzeichnen, nach logistischen Haltbarkeits-, Sicherheits-, Qualitäts- und Umweltkriterien den Vorschriften entsprechend lagern, bereitstellen und auf Einsatzfähigkeit prüfen | 15 | |
| b) | Laborgeräte zum Handhaben von Arbeitsstoffen auswählen und einsetzen |
| c) | gasförmige Arbeitsstoffe handhaben, insbesondere Gase entnehmen, Drücke messen |
| d) | Detektionsverfahren für Gase anwenden |
| e) | Chemikalien handhaben sowie Lösungen, insbesondere Ätzlösungen und fotochemische Lösungen, nach Konzentrationsvorgaben herstellen |
| f) | Arbeitsstoffe, insbesondere Gase und Chemikalien, entsorgen |
| g) | Reinheit der Arbeitsstoffe sicherstellen, Verunreinigungen vermeiden, prüfen und entfernen | | 3 |
| 10 | Sichern und Prüfen der Reinraumbedingungen (§ 3 Nr. 10) | a) | betriebliche Richtlinien bezüglich Reinraumkleidung und Verhalten im Reinraum einhalten | 4 | |
| b) | elektrostatische Gefährdung von Bauelementen (ESD-Sicherheit) prüfen und dokumentieren, bei Abweichungen Maßnahmen zur Beseitigung einleiten |
| c) | Funktion von Filtern prüfen sowie Partikelmessungen der Reinraumluft durchführen | | 4 |
| d) | anhand der Produktqualität auf die Entstehung und Ausbreitung von Verunreinigungen schließen |
| e) | Qualität des Laminarstroms sowie die reinraumgerechte Anordnung von Anlagen, Geräten und Arbeitsplätzen kontrollieren, Aufstellungsvarianten für Geräte und Anlagen erarbeiten |
| 11 | Umrüsten, Prüfen und vorbeugendes Instandhalten von Produktionseinrichtungen (§ 3 Nr. 11) | a) | mechanische und elektrische Komponenten sowie DV-technische Einrichtungen an geänderte Prozeßabläufe und unterschiedliche Produkte anpassen, insbesondere | 15 | |
| | - mechanische Konstruktionsteile zerlegen und zusammenbauen |
| | - Rohre, Rohrleitungsteile, Schläuche, Ventile und Regler verbinden sowie auf Dichtigkeit und Funktion prüfen |
| | - konfektionierte elektrische Leitungen befestigen und anschließen |
| | - Änderungen der Anlage dokumentieren |
| b) | elektrische Größen messen, Bauteile prüfen sowie Signale an Schnittstellen prüfen |
| c) | vakuumtechnische Einrichtungen prüfen |
| d) | Störungen in Anlagen und Prozeßleiteinrichtungen feststellen, melden sowie dem Instandsetzer beschreiben, insbesondere | | 13 |
| | - Störungen in Meßeinrichtungen auf Grund chemischer und physikalischer Einwirkungen feststellen |
| | - Einrichtungen zum Messen von Temperatur, Druck, Flüssigkeitsstand, Durchfluß, Volumen- und Massenstrom prüfen |
| | - Sensoren prüfen und justieren |
| | - Sicherheits- und Meldesysteme nach Prüfvorschriften kontrollieren, Prüfprotokolle anfertigen |
| e) | vorbeugende Instandhaltung unter Berücksichtigung spezifischer Produktionsbedingungen durchführen, Arbeitsgeräte und Anlagen reinigen |
| 12 | Einstellen von Prozeßparametern (§ 3 Nr. 12) | a) | Betriebswerte von Produktionseinrichtungen nach Anweisung, Schaltungs- und Prüfungsunterlagen sowie nach Datenblättern einstellen, abgleichen und prüfen | | 4 |
| b) | Sollwerte von prozeßrelevanten Größen, insbesondere Drehzahl, Temperatur-, Druck- und Durchflußsollwerte, einstellen |
| c) | Funktions- und Prozeßablauf anhand technischer Unterlagen kontrollieren, prüfen, anpassen und dokumentieren |
| 13 | Optimieren des Produktionsprozesses (§ 3 Nr. 13) | a) | Verbesserungsmöglichkeiten im Bereich Defektdichte, Durchlaufzeit, Qualität und Ausbeute feststellen | | 6 |
| b) | Meßergebnisse im Team analysieren und Verbesserungspotentiale diskutieren |
| c) | Prozeßabläufe anhand von Ergebnissen prozeßbegleitender Kontrollen nach Vorgaben verändern, Optimierung des Zusammenwirkens von Prozeß und Anlage unterstützen |
| d) | beim Fertigungsablauf neuer oder veränderter Produkte mitwirken und eigene Erfahrungen zur Optimierung nutzen |
| Abschnitt II: Ausbildungsinhalte in den Schwerpunkten |
| 1. Schwerpunkt Halbleitertechnik |
| 14 | Herstellungs- und Montageprozesse (§ 3 Nr. 14) | Produktionsanlagen zur Herstellung von Halbleiterkomponenten bedienen und beschicken, Prozesse kontrollieren und überwachen, insbesondere | | 18 |
| a) | Oberflächenbehandlungen durchführen, insbesondere dünnschleifen, chemischmechanisch polieren und tempern |
| b) | Strukturen durch Belacken, Belichten, Entwickeln und Ätzen erzeugen |
| c) | Schichten, insbesondere durch Oxidation, Gasabscheidung, Epitaxie, Aufdampfen und Sputtern, erzeugen |
| d) | Dotierprozesse durchführen |
| e) | naßchemische Prozesse, insbesondere Reinigungs- und Ätzprozesse, durchführen |
| f) | Wafer trennen |
| g) | Chips montieren, kontaktieren und häusen |
| 15 | Prozeßbegleitende Prüfungen (§ 3 Nr. 15) | a) | optische Identifizierung von Einzelkomponenten und Teilkomponenten integrierter Schaltungen auf Wafern durchführen, insbesondere von Widerständen, Dioden, Transistoren, Kondensatoren und Kontaktierungen | | 10 |
| b) | Zusammenhänge zwischen den Eigenschaften mikrotechnischer Produkte sowie Prozeßparametern, Prozeßschritten und Strukturen beachten |
| c) | Partikelmessungen und Schräglichtkontrollen durchführen |
| d) | Justage und Maßhaltigkeit der Strukturen kontrollieren |
| e) | Schichtdicken optisch, elektrisch und mechanisch messen |
| f) | elektrische Kennwerte von Bauelementen anhand von Teststrukturen messen und prüfen |
| g) | anhand von Prüfungsergebnissen auf Prozeßfehler und auf zu verändernde Prozeßparameter schließen |
| 16 | Durchführen von Endtests(§ 3 Nr. 16) | a) | Parametermessungen im Wafer-prüffeld durchführen | | 6 |
| b) | elektrische Funktionsanalyse, insbesondere unter Dauerbelastung, wechselndem Klima sowie wechselnder Betriebsspannung, durchführen |
| 17 | Sichern von Prozeßabläufen im Einsatzgebiet (§ 3 Nr. 17) | a) | technologische Entwicklungstrends, insbesondere bei Materialien, Strukturgrößen und Einsatzfeldern von Halbleiterprodukten, beachten | | 18 |
| b) | Wettbewerbssituation der Produkte, insbesondere in Bezug auf Preise und Qualität, beachten |
| c) | Informationen über technische und technologische Bedingungen sowie über Vorgaben der Produktionsplanung beschaffen und an das Team weitergeben |
| d) | Produktionsfähigkeit von Anlagen herstellen sowie vorbeugende Instandhaltung zum logistisch richtigen Zeitpunkt im Rahmen des Produktionsablaufes durchführen |
| e) | für die rechtzeitige Lieferung benötigter Masken, Medien und Vorrichtungen sorgen sowie Vollständigkeit, Verständlichkeit und Aktualität von Prozeßvorschriften kontrollieren |
| f) | Beschaffenheit und Menge von Arbeitsstoffen kontrollieren, Proben entnehmen und zur Analyse vorbereiten |
| g) | Abgasreinigungs- und Neutralisationsanlagen bedienen und überwachen, pH-Wert von Lösungen bestimmen und Lösungen neutralisieren |
| h) | Prozeßwasser filtrieren, Aufbereitungsanlagen zur Vollentsalzung und Entkeimung von Prozeßwasser bedienen und überwachen, Leitfähigkeit messen |
| i) | bei der Durchführung von Prozeßschritten vor- und nachgelagerte Prozeßschritte berücksichtigen |
| k) | Störungen im Prozeß erkennen sowie Prozeßabläufe durch Nutzung von Eingriffsmöglichkeiten in die Prozeßkette sichern |
| l) | Vor- und Endprodukte lagern und transportieren |
| 2. Schwerpunkt Mikrosystemtechnik |
| 14 | Herstellungs- und Montageprozesse (§ 3 Nr. 14) | Produktionsanlagen zur Herstellung von Komponenten der Mikrotechnik bedienen und beschicken, Prozesse kontrollieren und überwachen, insbesondere | | 18 |
| a) | Träger für Bauelemente, insbesondere in Dünnschichtoder Dickschichttechnik, herstellen |
| b) | Substrate trennen |
| c) | Bauelemente von Mikrosystemen bestücken, kleben, löten und schweißen |
| d) | Blech- und Kunststoffteile der Mikrotechnik montieren |
| e) | Substrate montieren, kontaktieren und häusen |
| 15 | Prozeßbegleitende Prüfungen (§ 3 Nr. 15) | a) | Elemente von Mikrosystemen, insbesondere Sensoren, Aktoren sowie mechanische und optische Funktionselemente, unterscheiden | | 6 |
| b) | Zusammenhänge zwischen den Eigenschaften von Mikrosystemen sowie Prozeßparametern, Prozeßschritten und Strukturen beachten |
| c) | Schichtdicken optisch und mechanisch messen |
| d) | Kennwerte von Bauelementen messen und prüfen |
| e) | Verbindungen und Justage im Gehäuse kontrollieren |
| f) | anhand von Testergebnissen auf Prozeßfehler und auf zu verändernde Prozeßparameter schließen |
| 16 | Durchführen von Endtests (§ 3 Nr. 16) | a) | Parametermessungen durchführen | | 10 |
| b) | Endmessungen und Belastungstests durchführen |
| c) | Systemabgleich durchführen |
| d) | Funktionsanalyse, insbesondere unter Dauerbelastung, wechselndem Klima sowie wechselnder Betriebsparameter, durchführen |
| 17 | Sichern von Prozeßabläufen im Einsatzgebiet (§ 3 Nr. 17) | a) | technologische Entwicklungstrends, insbesondere bei Materialien, Funktionen und Einsatzfeldern von Mikrosystemen, beachten | | 18 |
| b) | das Zusammenwirken von Mikrosystemen mit dem Gesamtsystem berücksichtigen |
| c) | Wettbewerbssituation der Produkte, insbesondere in Bezug auf Preise und Qualität, beachten |
| d) | Informationen über technische und technologische Bedingungen sowie über Vorgaben der Produktionsplanung beschaffen und an das Team weitergeben |
| e) | Produktionsfähigkeit der Produktionsanlagen herstellen sowie vorbeugende Instandhaltung zum logistisch richtigen Zeitpunkt im Rahmen des Produktionsablaufes durchführen |
| f) | für die rechtzeitige Lieferung benötigter Werkzeuge, Bauteile und Medien sorgen sowie Vollständigkeit, Verständlichkeit und Aktualität von Prozeßvorschriften kontrollieren |
| g) | Beschaffenheit und Menge von Bauteilen und Medien kontrollieren |
| h) | bei der Durchführung von Prozeßschritten vor- und nachgelagerte Prozeßschritte berücksichtigen |
| i) | Störungen im Prozeß erkennen sowie Prozeßabläufe durch Nutzung von Eingriffsmöglichkeiten in die Prozeßkette sichern |
| k) | Vor- und Endprodukte lagern und transportieren |
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